理想的擴散泵泵液應(yīng)該是穩(wěn)定、蒸氣壓低、氣化熱小，而且在拿取、使用和倒掉時應(yīng)該是安全的。它又應(yīng)該是不會分解，不會吸收
氣體，又不與周圍物質(zhì)起反應(yīng)的。遺憾的是滿足這些要求的泵液并不存在。水銀是最先被用作為擴散泵泵液的唯一的液體元素。現(xiàn)
在，幾乎在所有的應(yīng)用方面水銀都已為分餾過的碳級化合物和合成泵液所取代。水銀的蒸氣壓高，而且在工作中必須用冷阱捕集之
。它還有毒。即使這樣，因為它不分解，又不溶解氣體，并且因為它的質(zhì)譜很容易識別，所以在某些特殊應(yīng)用，如質(zhì)譜學(xué)中仍舊使
用著。在結(jié)束討論這個水銀作泵液的題目之前，還應(yīng)注意在通常的油擴散泵中水銀和油是不能替換使用的。水銀所要求的鍋滬沮度
要比油所要求的為低，而且還會與油擴散泵的某些結(jié)構(gòu)材料起反應(yīng)。除非在液氮冷阱和水銀擴散泵之間再加裝一個溫度高于-40℃的
障板，否則在水銀泵上方的液氮冷講持續(xù)工作幾天后，就會把鍋爐.里所盛的水銀耗盡。
大多數(shù)擴散泵采用各種分餾過的碳?xì)浠衔�、醋類、聚硅氧烷或醚類物質(zhì)�，F(xiàn)已證明沒有一種泵液能很好地適用于所有的用途。輕
油的抽速要比重油高，而重泵液的蒸氣壓低，這對要求高的應(yīng)用中獲得所需要的低的極限壓強是很必要的。碳氮化合物油是最先代
替水銀的有機泵液。這些泵液在加熱時會分解，因而限制了它們所能獲得的極限壓強。
泵液中的輕餾分會返流進入真空室，而重餾分則會淀積在泵上。引入分餾泵使油在冷凝后讓輕餾分優(yōu)先蒸發(fā)流向底噴口，以便被前
級泵抽除。使一段噴射器的壁面維持在高的溫度可對泵油進行除氣〕。結(jié)合上述的和其它設(shè)計方面的進展，并采用精選過的碳?xì)浠?br />
合物經(jīng)分子蒸餾而制成的重油的擴散泵能夠達到5*10-5Pa(不用冷阱)，采用液氮冷阱時則可達到5*10-7Pa。
不管用什么樣的泵液，擴散泵都不應(yīng)該在熱的時候放入大氣，否則會使泵液散射到整個系統(tǒng)中去，而且會使泵液逐漸變質(zhì)或者在泵
的內(nèi)表面上形成有光澤的淀積物。雖然五基苯基醚由于它在與電子碰撞時會聚合而形成一層導(dǎo)電膜而不是會帶電且反射電子的絕緣
膜，因而在質(zhì)譜檢漏儀、殘余氣體分析器和電子顯微鏡中可用來代替硅油或碳?xì)浠衔镉�，但由于DC-705油的價格便宜，所以它仍
比五基苯基醚用得更為廣泛。當(dāng)不允許存在硅油污染時，也采用五墓苯基醚。不太貴的癸二酸氫酷是適用于某些這類應(yīng)用的。全氟
醚也是穩(wěn)定的、蒸氣壓低而且不會聚合成絕緣膜的。但據(jù)報道它的抽速要比五環(huán)聚苯摹醚低。在為要求嚴(yán)格的應(yīng)用選擇泵液時，價
格不是主要的因素，因為商業(yè)上實際可作到有效的回收再生。
