用來產(chǎn)生低壓空間的設(shè)備叫做“真空泵”，一般可以分為“前級(jí)泵”和“次級(jí)泵”兩種:前者用于把1大氣壓的氣體抽除至較低的壓強(qiáng)，后者則用于把較低壓強(qiáng)的氣體抽除至更低的壓強(qiáng)。
前級(jí)泵的種類很多。在真空技術(shù)方面，一般要求前級(jí)泵的性能為:
1.能將某一規(guī)定容器內(nèi)的氣體壓強(qiáng)從大氣壓(760乇)抽至10-3乇左右;
2.在壓力為1乇左右時(shí)抽氣速率與它的最高抽氣速率尚可比擬，即不致降落得太多。
能夠同時(shí)滿足這兩個(gè)條件的泵還只有轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵。廣義地視來，轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵就是使用機(jī)械轉(zhuǎn)子使空間不斷膨脹以獲得低壓的股備，一般可以分為旋片式、定片式、滑閥式、離心式以及草鞋式（羅茨泵）等幾種，但在一般實(shí)驗(yàn)室或需要高真空的工業(yè)單位中，最常用的是前面兩種。
