1．抽氣速率(體積流率)(s單位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩上指定位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。

2．極限壓力（極限真空）（單位：Pa/MPa/mmHg）

泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的最低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達(dá)到的最低的穩(wěn)定的壓力。

3．起動(dòng)壓力

泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力

4．前級壓力

排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。

5．最大前級壓力

超過了能使泵損壞的前級壓力。

6．最大工作壓力

對應(yīng)最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞·

7．抽氣量（Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流經(jīng)泵入口的氣體流量。

8．壓縮比

泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

綜上所述：真空泵的抽氣速率和極限壓力兩個(gè)參量是在實(shí)際應(yīng)用中選配真空泵的最重要的參量。