分子真空泵（簡稱分子泵）是1913年是德國人蓋得（W.Gaede）首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)。

雖然分子泵是一種機械泵,但它已經(jīng)擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理，而是靠高速運動的剛體表面來攜帶氣體分子實現(xiàn)抽

氣的一種新型機械真空泵。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運動的現(xiàn)象成為分子牽引，或稱為氣體的外摩擦輸運現(xiàn)象

。因此，人們把蓋得發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。這種泵具有啟動時間短，抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優(yōu)點。但由于它的密

封間隙小，容易引起機械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外，實際上很少應(yīng)用，曾有些人做過不少改進，出現(xiàn)過幾種不同

類型的牽引分子泵，但因為抽速低沒有推廣應(yīng)用，曾一度被結(jié)構(gòu)簡單的擴散泵所代替。

德國人貝克（W.Becker）1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵和牽引分子泵相比，在結(jié)構(gòu)和原理方面并不

完全相同。渦輪分子泵是以高速旋動的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現(xiàn)抽氣的。這種泵的極限壓力可以達到10-9帕以下，對

油蒸汽等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達到測不出的程度。因而殘余氣體中油蒸汽的分壓力很低。由于軸承用的潤滑油僅在

泵的出口側(cè)存在，故泵在運轉(zhuǎn)過程中入口處檢查不出油的痕跡。因此，渦輪分子泵可以獲得清潔無油的超高真空。這種泵如果長期

不用，軸承處的油蒸汽會擴散到泵的入口側(cè)，降低泵所能達到的清潔程度。為了消除油蒸汽的污染，在工作時，須對泵的入口進行

烘烤除氣，烘烤溫度要嚴格控制，過高會使葉片變形。有的在停泵時，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內(nèi)，以消除油蒸汽返流造成

的污染。